濕度、純度、分解物三種功能亦可兩兩組合，以滿足不同應用場合。具體型號，功能對應如下：
序號 | 型號 | 功能 |
1 | FCD30 | 微水、純度、分解物三合一 |
2 | FD30 | 微水、分解物二合一 |
3 | FC30 | 純度、分解物二合一 |
4 | DC30 | 純度、微水二合一 |
技術指標
SF6濕度：
測量范圍：露點-80～+20℃（支持ppmv等）
露點精度：±0.4℃（當露點溫度低于0℃，傳感器輸出為霜點）
響應時間：63％[90％] +20→-20℃ Td 5s[45s] -20→-60℃ Td 10s[240s]
分 辨 率：露點0.1℃或0.1ppm
重 復 性：±0.4℃
氣體流量：濕度測量時：0.8～0.9L/min、純度測量時：0.5～0.7L/min
電子質量流量計
樣氣流速無影響
壓力測量：0～1.0MPa
探頭保護：不銹鋼燒結過濾網
SF6純度：
范 圍： 0～100% SF6；
精度和重復性： ±0.1%，與流量無關；
響應時間：30S
SF6分解產物：
H2S： 0～200ppm 精度：≤±1%；
SO2：0～100ppm精度：≤±1%；
CO: 0～500ppm 精度：≤±1%
HF: 0～10ppm 精度：≤±1%
靈敏度：0.1 ppm
重復性：≤±1%
通用部分：
工作電壓： 220VAC±10% 50Hz，交直流兩用，過充保護，
連續工作不低于5小時
儲存溫度等級： -40～+70℃
輸出接口： USB1.1規范
數據存儲：可存儲200條記錄
操作環境： 溫 度： -30～+60℃
壓 力： 0～20bar
樣氣流速： 無影響
其它配置：標準版管理軟件，含報表打印，濕度常用轉換工具包
尺 寸：132×283×308
重 量：約4.3kg
